Спектральные и лазерные эллипсометры от немецкого производителя SENTECH Instruments GmbH предназначены для всевозможных задач в области метрологии тонких пленок, а именно:- измерения толщин пленок (как многослойных, так и однослойных пленочных стеков);
- коэффициента отражения, затухания, пропускания;
- индекса преломления;
- измерения при использовании меппинга показателя шероховатости и др. Мы рекомендуем вам заказ суши на дом недорого.
Метрология пленочных структур, их оптических характеристик, а также тонких пленок в целом (анализ толщины пленок от одного нм до сотен мкм) происходит при помощи следующих устройств:
- лазерного эллипсометра (длина волны равняется 632,8 нм);
- ИК-фурье эллипсометров (1666 нм - 25000 нм.);
- спектроскопических UV-VIS-NIR, UV-VIS эллипсометров (длина волны находится в пределах 190 нм - 2500 нм);
- рефлектометров (240 - 950 нм.).
Сфера применения эллипсометров
Эллипсометрия, как правило, используется в промышленных и научных разработках. Данная методика содействует при помощи обнаружения переходного тонкого слоя (пласта) на границе взаимодействия разных сред установке уровня абсорбции жидкостей, коррозии металлических твердых поверхностей, а также способствует в определении прочих процессов, влияющих на изменение характеристик и показателей промышленных сред.
При помощи лазерных эллипсомеров, принцип работы которых базируется на принципе преломления лазерного потока, можно быстро и с высокой точностью установить степень изменения во внутренних и в поверхностных слоях веществ разного типа. Такого рода приспособление просто в управлении, не нуждается в специальной подготовке к рабочему процессу. Устройство можно эксплуатировать не только в корпорациях и лабораториях, под юрисдикцией больших НИИ, но также и для промышленных нужд.
История появления эллипсометрии
В 1944 году известный ученый Ротен придумал название методики. Специалист занимался изучением эффекта эллиптической поляризации, возникавший при наложении взаимно перпендикулярного светового потока. Расчет точной информации проводится на принципе разложения самого светового потока (волны) в отраженном состоянии.
Кстати, первые эллипсоиды основывались на ламповом принципе работы, то есть были ламповыми. Уже позже были созданы лазерные измерительные аппараты. На сей день в таких измерительных инструментах в практике все чаще применяется светодиодная подсветка. При помощи подобных современных измерительных технологических устройств можно осуществлять не только плоскостные измерения, но и угловые замеры без каких-либо неудобств.
